-
سری محصولات E-SCAN SCAN -1 Nano Scanning Stage
سیستم اسکن سری μSCAN یک سیستم یکپارچه با کارایی بالا است که اخیرا توسط شرکت ما راه اندازی شده است.کل دستگاه از گرانیت با استحکام بالا به عنوان پایه استفاده می کند، با موتورهای خطی با عملکرد بالا و پلت فرم های سروو همکاری می کند و عمدتاً برای اسکن، پردازش، آزمایش و سایر کاربردها با دقت بالا استفاده می شود.انتخاب پارامترهای stroke استاندارد از تحویل سریع پشتیبانی می‌کند که عیوب ترکیب ناشی از ناآشنایی مشتری با ترکیب و کاستی‌های عملکرد ناشی از ناآشنایی با اشکال‌زدایی را تا حد زیادی کاهش می‌دهد.
-
E-LMT-XY (مرحله موتور خطی با دقت بالا) مرحله حرکت موتور خطی XY
● محدوده سفر 100 میلی متر × 100 میلی متر یا 200 میلی متر × 200 میلی متر
● قابلیت تکرار یک جهته تا 0.3 میکرومتر
● موتور خطی 3 فاز بدون آهن
● سرعت تا 500 میلی متر بر ثانیه افزایشی
● رمزگذار خطی با وضوح 4.88 نانومتر
● راهنماهای غلتکی متقاطع
● موتورهای خطی
-
سکوی شناور هوای تک بعدی E-ABW400-X
● ایده آل برای اسکن برنامه ها یا موقعیت یابی با دقت بالا
● Cleanroom سازگار است
● اندازه سکوی حرکتی 400 میلی متر × 138 میلی متر
● محدوده سفر 200 میلی متر تا 1000 میلی متر
● وضوح تا 5 نانومتر
-
مرحله یاتاقان هوا محور عمودی E-ABVT-Z
● محدوده حرکت عمودی 20 یا 38 میلی‌متر (1/2 اینچ)
● قابلیت تکرار موقعیت تا 10 نانومتر
● ظرفیت بار تا 6 کیلوگرم
● گزینه رمزگذار خطی اندازه گیری مستقیم
● درایو موتور صوتی
● از ریل های بلبرینگ هوا، ریل های توپی متقاطع نیز می توان استفاده کرد
-
E-ABL250-X پلت فرم بلبرینگ هوا با دقت فوق العاده یک بعدی
● ایده آل برای اسکن برنامه ها یا موقعیت یابی با دقت بالا
● Cleanroom سازگار است
● اندازه سکوی حرکتی 250 میلی متر × 90 میلی متر
● محدوده سفر بین 100 تا 600 میلی متر است
● ظرفیت بار تا 200 نیوتن
● طراحی بلبرینگ هوا
● E-EC-ABL-X
● دارای سطح مقطع کوچکتری نسبت به مراحل معمولی تحمل هوا بدون کاهش قابلیت بارگذاری است.سطوح بزرگ تحمل کننده هوا سفتی عالی را فراهم می کند و امکان بارگذاری سنگین را فراهم می کند.ساخت اختصاصی
● تکنیک ها منجر به مرحله ای با ویژگی های زمین، رول و انحراف بی نظیر می شوند.
-
مرحله حرکت شناور هوای تک بعدی E-EC-ABL-X
● بلبرینگ هوا کاملاً از پیش بارگذاری شده
● با سفر تا 1000 میلی متر موجود است
● بازخورد رمزگذار خطی با دقت بالا
● طراحی کامل بدون تماس
● طراحی فوق العاده صاف برای ثبات سرعت فوق العاده
-
مرحله حرکت مورتور E-NLS92-50-1V-BLinear مرحله خطی با دقت بالا
● ویژگی های LS90-50-1V-B.
● درایو موتور بسیار نازک و خطی.سکته مغزی 50 میلی متر;
● اندازه بسیار کوچک، مشخصات 122mm x 92mm x 18mm.
● حداقل حرکت افزایشی 50 نانومتر.
● دقت موقعیت یابی مجدد: ≤100nm.
● رزولوشن گریتینگ 1nm (1vpp).
● رانش رتبه ای 5N پیک رانش 16N.
● راه آهن متقاطع وارداتی.
● حداکثر بار: 4 کیلوگرم;
● حرکت پیوسته صاف، عمر مفید درجه صنعتی.
-
E-ABT-XY-360X360 (محل موتور خطی سرامیکی) مرحله موتور خطی یاتاقان هوا XY
نسخه سرامیکی از آلومینا با خلوص بالا به عنوان ساختار شناور هوا و عناصر راهنما استفاده می کند.در مقایسه با گرانیت و فلز، سرامیک های آلومینا ضریب انبساط کمتری دارند و از مزایای صافی، سختی و مقاومت در برابر سایش برخوردارند.
-
E-GLMT-XY (مرحله موتور خطی با دقت بالا) مرحله موتور خطی XY
● موتورهای خطی
● موتورهای خطی درایوهای مستقیم الکترومغناطیسی هستند.آنها از اجزای مکانیکی در پیشرانه صرف نظر می کنند و نیروی محرکه را مستقیماً و بدون اصطکاک به پلت فرم حرکت منتقل می کنند.درایوها به سرعت و شتاب بالایی می رسند.موتورهای بدون آهن مخصوصاً برای موقعیت یابی با بیشترین نیاز به دقت مناسب هستند زیرا هیچ تعامل نامطلوبی با آهنرباهای دائمی وجود ندارد.این امر باعث می شود که حتی در کمترین سرعت نیز بدون مشکل حرکت کند و در عین حال در سرعت های بالا هیچ لرزشی وجود ندارد.از غیر خطی بودن در رفتار کنترل اجتناب می شود و هر موقعیتی را می توان به راحتی کنترل کرد.نیروی محرکه را می توان آزادانه تنظیم کرد.
-
E-EC-ABL-X مراحل خطی دقیق شناور هوای تک بعدی
پلت فرم موتور خطی سری E-EC-ABL-X از روش ریل هدایت کننده هوا همراه با موتور خطی هسته آهنی استفاده می کند که دارای صافی و صافی است که با ریل های راهنمای مکانیکی سنتی بی نظیر است و به ویژه برای فواصل گام های کوچک یا فوق العاده مناسب است. سناریوهای کاربردی موقعیت یابی دقیقاین یک برنامه کاربردی عالی برای اشکال زدایی نوری دقیق، نصب و پردازش است.
● راهنمای خطی بلبرینگ هوا صافی و صافی بسیار خوبی دارد
● موتور خطی هسته آهنی استحکام کافی سیستم و عملکرد دینامیکی را تضمین می کند
● عملکرد بی صدا و پایدار با نویز بسیار کم
● عملکرد دقیق بسیار بالایی دارد
● ایده آل برای اسکن برنامه ها یا موقعیت یابی با دقت بالا
● Cleanroom سازگار است
● اندازه سکوی حرکتی 210 میلی متر × 100 میلی متر
● محدوده سفر 200 میلی متر تا 500 میلی متر
● وضوح 100 نانومتر یا 1 نانومتر
-
E-LMS250GT-X (مرحله تعیین موقعیت خطی) مرحله حرکت موتور خطی یک بعدی
پلت فرم موتور خطی E-LMS250GT-X از گرانیت با کیفیت بالا به عنوان پایه، با ریل راهنمای غلتکی خطی با استحکام بالا و موتور خطی هسته آهنی استفاده می کند.
ماشین، با صافی، صافی و ظرفیت بار عالی، به طور کلی به عنوان ماژول اصلی تجهیزات موقعیت یابی سیار در مقیاس بزرگ استفاده می شود.
● پایه گرانیت، استحکام و ثبات خوب، مسطح بودن بالا.
● ریل راهنمای خطی با فناوری C-LUBE، تا 5 سال چرخه بدون روغن کاری.
●موتور با راندمان بالا، بدون تماس، سرعت بالا و پایداری سرعت بسیار بالا.
● سکته مغزی طولانی و ظرفیت بار.
● تحویل سریع بر اساس نیازهای تولید مشتری.
-
E-NLS60-32-1V-B مرحله حرکت خطی بسیار نازک NLS
● سری NLS از یک موتور سیم پیچ صوتی مخصوص سفارشی سازی شده استفاده می کند که ترکیبی از گریتینگ با وضوح بالا و
● راهنمای غلتک متقاطع دقیق، در Mini
● اندازه کوچک نیز مانند سری UMS دارای دقت بالا و دینامیک بالا است.به ویژه برای برخی از سناریوهای کاربردی که به حجم بسیار حساس هستند مناسب است.
● موتور درایو مستقیم بدون تماس، دقت فوق العاده بالا و عملکرد دینامیکی عالی
● موتور بدون آهن، نوسان سرعت کمتر از یک هزارم است (همراه با نوع مشخص شده درایو، داده های تست محیط اتاق آزمایش)
● ریل های راهنمای آرام و ضد خزش برای اطمینان از کنترل میکرو گام
● عمر طولانی، استفاده بدون تعمیر و نگهداری برای مدت طولانی
